氣動量儀的數據誤差有兩種表示方法：用數值表示，即用測量值與具體值的差值表示，這種方法表示的偏差的原因稱為誤差；比率表明，這種方法所表示的偏差的原因稱為相對偏差。比如用氣動量儀測量長度，較大的相對偏差為萬分之一，這說明在要求的標準下，測量一米長度的偏差原因不應超過0.1微米。
氣動量儀的測量結果與測量長度的真實值之間的一致性水平表明。它是準確度和精密度的綜合，俗稱精準度。如果系統誤差已經過調整，則用普通不確定度表示。氣動量儀的測量不確定度是指由于數據誤差導致測量值不能處于一個不容置疑的水平，其大小用相對標準偏差表示。
在氣動量儀的測量中，個人多次測量被測長度后得到的數據信息，往往取算術平均值作為測量結果。那是因為根據概率論的大數定律，如果測量頻率足夠，精度是可以提高的。整個測量過程中隨機偏差的發生大多遵循標準正態分布規律。
此外，氣動量儀還有數據處理方法，對測量個體獲得的數據信息進行數學運算，以獲得所需的測量結果。比如用氣動量儀測量同心度時，立即得到的數據信息是某個相對中心點的半翹變化，所以只有將同心度定義為相對函數計算，才能得到同心度偏差的原因。
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